光學微電子潔凈廠房光學微電子潔凈廠房
方案簡介：
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板
制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創新發展，對于產
品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發展
上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于領先地位。
光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排
除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一
需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。
無塵車間/潔凈室的目的如下：
功能一：過濾循環空氣建議無塵環境，
功能二：調節空氣建立恒溫恒濕環境。
功能三，建立正壓環境避免外氣污染
光學微電子凈化工程一般包括：
1、 潔凈生產區
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、 管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、 設備區（包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）
光學微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒
→ 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。
光學微電子凈化工程凈化參數
換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。
壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。
溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB（A）；
新風補充量是總送風量的10％－30％；
照度300LX。
光學微電子凈化工程結構材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、
窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
